壓電掃描臺(tái) ∣ PK2L130-050U【超薄型】
應(yīng)用領(lǐng)域：顯微鏡、掩模/晶圓定位、干涉測(cè)量、測(cè)量技術(shù)、生物技術(shù)、掃描和篩選
- 運(yùn)動(dòng)方向： X、Y 軸
- 標(biāo)稱行程： 50 μm x 50 μm 閉環(huán)）
- 外形尺寸： 130 ×130 ×18 mm
- 中空尺寸： 45 x 45 mm
咨詢服務(wù)熱線：
13062620377產(chǎn)品型號(hào) | PK2L130-060U | PK2L130-060U-S | 公差 | 備注 | |
運(yùn)動(dòng)自由度 | X、Y | X、Y | - | - | |
傳感器類型 | - | Strain Gage | - | - | |
標(biāo)稱行程范圍（@0~+120V） | 60 μm x 60 μm | 60 μm x 60 μm | ±10% | - | |
最大行程范圍（@-20~+150V） | 80 μm x 80 μm | 80 μm x 80 μm | ±20% | - | |
分辨率 | 2 nm / 軸 | 2 nm / 軸 | typ. | Note 1 | |
重復(fù)定位精度 | - | 0.05% F.S. / 軸 | typ. | - | |
線性度 | - | 0.1% / 軸 | typ. | - | |
空載階躍時(shí)間 | 1 ms | 5 ms | typ. | Note 2 | |
承載能力（推薦） | 20 N | 20 N | Max. | - | |
諧振頻率 | 0g | 500 Hz | 500 Hz | ±20% | Note 3 |
諧振頻率 | 200g | 300 Hz | 300 Hz | ±20% | - |
運(yùn)動(dòng)方向剛度 | 0.5 N/μm | 0.5 N/μm | ±20% | - | |
運(yùn)動(dòng)方向推力/拉力 | 50N / 30N | 150N / 15N | ±20% | - | |
驅(qū)動(dòng)方式 | 壓電陶瓷 | 壓電陶瓷 | - | - | |
工作溫度范圍 | -20~+80 ℃ | -20~+80 ℃ | - | - | |
線纜長度 | 1.5 m/軸 | 1.5 m/軸 | ±10mm | Note 4 | |
中空尺寸(LxW) | 45 x 45 mm | 45 x 45 mm | - | ||
外形尺寸(LxWxH) | 130 ×130 ×18 mm | 130 ×130 ×18 mm | - | - | |
重量 | 1400 g | 1400 g | ±5% | Note 5 | |
PZT & Sensor連接器 | LEMO | LEMO | - | Note 6 | |
本體材質(zhì) | 鋁 | 鋁 | - | - | |
Note：尾綴帶“S”的為閉環(huán)，尾綴為空為開環(huán)。
1. 指實(shí)際分辨率，為PCM721S壓電控制器實(shí)際輸出電壓分辨率計(jì)算得出。（另，驅(qū)動(dòng)電壓輸出的紋波噪聲mVpp對(duì)應(yīng)的分辨率為理論分辨率，因?yàn)閴弘娞沾杉{米定位系統(tǒng)無摩擦，所以系統(tǒng)分辨率僅受放大器噪聲和測(cè)量技術(shù)的限制。即型號(hào)為PCM721S壓電控制器的驅(qū)動(dòng)電壓紋波噪聲為2mVpp，則對(duì)應(yīng)的壓電平臺(tái)的分辨率約為0.8nm）。
2. 開環(huán)的階躍響應(yīng)時(shí)間與壓電控制器的驅(qū)動(dòng)電流有關(guān)。閉環(huán)的階躍響應(yīng)時(shí)間與閉環(huán)的調(diào)節(jié)有關(guān)。
3. 為壓電納米定位系統(tǒng)共振頻率，使用時(shí)應(yīng)避開此頻率，建議在負(fù)載對(duì)應(yīng)的諧振頻率80%下使用。
4. 線纜長度可定制。
5. 臺(tái)體重量包括線纜及連接器的重量。
6. 可定制連接器型號(hào)。
注：以上規(guī)格參數(shù)基于實(shí)驗(yàn)室環(huán)境測(cè)得。
