壓電平移臺 ∣ PS3L90-100UA
應用領域：顯微鏡、掩模/晶圓定位、干涉測量、測量技術、生物技術、掃描和篩選
- 運動方向： X、Y、Z 軸
- 標稱行程： 100 x 100 x 500 μm（閉環(huán)）
- 外形尺寸： 90 ×90 × 30 mm
- 商品特性： 無磁材質
咨詢服務熱線：
13062620377規(guī)格型號1 | PS3L90-100UA | PS3L90-100UA-S | 公差8 |
運動軸 | X、Y、Z | X、Y、Z | - |
集成傳感器 | - | SGS | - |
標稱行程范圍2（@0~+120V） | 100 μm x 100 μm x 500 μm | 100 μm x 100 μm x 500 μm | ±10% |
最大行程范圍2（@-20~+150V） | 110 μm x 110 μm x 540 μm | 110 μm x 110 μm x 540 μm | ±20% |
分辨率3 | （XY）1 nm、（Z）4.5nm | （XY）3 nm、（Z）14nm | typ. |
最小移動步長4 | （XY）3.5 nm、（Z）17 nm | （XY）3.5 nm、（Z）17 nm | typ. |
線性誤差 | - | 0.05% | typ. |
重復定位精度（全行程） | - | 0.05% | typ. |
角擺偏差（俯仰/偏擺/滾轉） | 20 μrad | 20 μrad | typ. |
承載能力5 | 5 N | 5 N | Max. |
諧振頻率（0g） | （XYZ）300 Hz、260 Hz、250 Hz | （XYZ）300 Hz、260 Hz、250 Hz | ±20% |
運動方向剛度 | 0.5 N/μm | 0.5 N/μm | ±20% |
運動方向推力/拉力 | 20N / 3N | 20N / 3N | ±20% |
驅動機構 | PZT | PZT | - |
工作溫度范圍 | -20~+80 ℃ | -20~+80 ℃ | typ. |
線纜長度6 | 1.5 m | 1.5 m | ±10mm |
中空尺寸 | - | - | - |
外形尺寸（長×寬×高） | 90 × 90 × 30 mm | 90 × 90 × 30 mm | - |
重量7 | 390 g | 390 g | ±5% |
PZT&Sensor連接器 | LEMO | LEMO | - |
本體材質 | 鋁、鋼 | 鋁、鋼 | - |
注：所有規(guī)格參數(shù)基于室溫（22°C±3°C）測得，欲了解更多信息，請與我們聯(lián)系。表中“-”表示為不適用。
1.尾綴“-S”為閉環(huán)，內置位置傳感器。開環(huán)尾綴不帶“-S，無線性誤差、重復度數(shù)據(jù)。
2.最大驅動電壓為-20V~+150V，對于高可靠的長期使用，建議驅動電壓在 0...+120V，更大行程請咨詢。出廠為標稱行程。
3.分辨率即定位噪聲。因為壓電陶瓷納米定位系統(tǒng)無摩擦，所以系統(tǒng)分辨率僅受放大器噪聲和測量技術的限制。通常使用RMS（1σ）值進行測量和指定。
4.指通過干涉儀測得的壓電平臺可移動的最小步長值，它主要由壓電控制器的DAC分辨率決定。最佳情況下，參數(shù)表中為16-Bit對應的位移步長值。
5.軸向載荷，更高的負載請咨詢，注意超出標稱負荷會對柔性機構造成損壞。
6.更長的線纜長度請咨詢。
7.臺體重量不包括線纜及連接器的重量。
8.公差中Max.表示最大值；typ.表示標準典型數(shù)據(jù)值，檢測報告中會給出實際的測量數(shù)據(jù)值。
