為了跟上技術(shù)發(fā)展的步伐，前端制造設(shè)備和測(cè)量設(shè)備中的納米定位機(jī)構(gòu)和精密運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)的精度必須達(dá)到10倍至1000倍的更高精度和更小特征尺寸。振動(dòng)、定位誤差和漂移必須控制在0.1nm范圍內(nèi)（原子半徑量級(jí)）。傳統(tǒng)的定位系統(tǒng)已經(jīng)無(wú)法提供半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)所需的穩(wěn)定性和精度。在半導(dǎo)體領(lǐng)域，步研科技提供各種基于壓電陶瓷產(chǎn)品的解決方案，包括納米測(cè)量應(yīng)用的壓電納米臺(tái)、掩模對(duì)準(zhǔn)的納米對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)、水平和垂直定位的新型混合大行程納米定位臺(tái)及多維度精密定位平臺(tái)。

摩爾定律一直在推動(dòng)IC線寬和尺寸的變化。為了跟上技術(shù)發(fā)展的步伐，前端制造設(shè)備和測(cè)量設(shè)備中的納米定位機(jī)構(gòu)和精密運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)的精度必須達(dá)到10倍至1000倍的更高精度和更小特征尺寸。振動(dòng)、定位誤差和漂移必須控制在0.1nm范圍內(nèi)（原子半徑量級(jí)）。傳統(tǒng)的定位系統(tǒng)已經(jīng)無(wú)法提供半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)所需的穩(wěn)定性和精度。大規(guī)模集成電路制造中，印刷電路板上的布線密度越來(lái)越高。印刷電路板上線路的修復(fù)、線路連接質(zhì)量和表面質(zhì)量的評(píng)估、材料性能的檢測(cè)等許多工序都需要納米級(jí)定位系統(tǒng)來(lái)完成。納米定位系統(tǒng)還可以在納米加工和測(cè)量中用作掃描隧道顯微鏡的三維致動(dòng)器；在集成電路制造中用作x 射線曝光機(jī)、圖形發(fā)生器等設(shè)備中的超精密定位裝置；在超精密加工中用作在刀具微進(jìn)給裝置；微型機(jī)械制造中用于微型機(jī)器的封裝和裝配、微小圖形的修補(bǔ)等。

在半導(dǎo)體領(lǐng)域，使用基于壓電陶瓷的解決方案，包括用于減震的長(zhǎng)壽命壓電元件，用于定位的超高性能大行程納米定位平臺(tái)。其他的精密運(yùn)動(dòng)產(chǎn)品還包括用于快速光束穩(wěn)定/角度校正的壓電偏擺平臺(tái)，用于納米測(cè)量應(yīng)用的壓電柔性納米臺(tái)，用于掩模對(duì)準(zhǔn)的納米對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)，用于水平和垂直定位的新型混合大行程納米定位臺(tái)。電容納米測(cè)量傳感器可以測(cè)量亞納米尺度的運(yùn)動(dòng)并具有很高的帶寬，也大量應(yīng)用在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中。